四探針電阻測(cè)試儀是一種用于測(cè)量物質(zhì)電阻率、電阻及方塊電阻的專(zhuān)業(yè)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、薄層材料檢測(cè)以及化工、建材等行業(yè)。它基于四探針接觸法設(shè)計(jì)，通過(guò)外側(cè)兩探針施加穩(wěn)定電流，內(nèi)側(cè)兩探針測(cè)量電勢(shì)差，實(shí)現(xiàn)電流-電壓分離測(cè)量，有效消除接觸電阻和引線電阻的干擾，確保測(cè)量結(jié)果的高精度。

　　該儀器適配多種樣品形態(tài)，包括塊狀、棒狀及薄膜材料，測(cè)量范圍覆蓋電阻率10??～10?Ω·cm，標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤2%。其硬件配置先進(jìn)，采用液晶顯示屏與自動(dòng)溫度補(bǔ)償系統(tǒng)，二代機(jī)型配備自動(dòng)傳感測(cè)試架，減少探針與樣品接觸損傷。內(nèi)置計(jì)算機(jī)可自動(dòng)調(diào)整系數(shù)，通過(guò)接口實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與導(dǎo)出，提升操作便捷性。

　　四探針電阻測(cè)試儀的主要結(jié)構(gòu)：

　　1、四探針測(cè)試頭(Four-Point Probe Head)

　　這是儀器最核心的傳感部件，直接與樣品接觸。

　　四個(gè)探針(Probes)：

　　通常為等間距、直線排列的金屬針（常用鎢鋼、銥或鉑合金制成，硬度高、耐磨損）。

　　探針尖d非常尖銳（微米級(jí)），以減小接觸面積，但需避免劃傷樣品。

　　外側(cè)兩根探針：用于通入測(cè)量電流（I）。

　　內(nèi)側(cè)兩根探針：用于測(cè)量電壓降（V）。

　　探針支架/探頭座：

　　精密固定四個(gè)探針，確保其間距（s）恒定且精確（常見(jiàn)間距為1mm）。

　　通常采用絕緣材料（如陶瓷、特種塑料）制造，防止漏電。

　　探針驅(qū)動(dòng)/加載機(jī)構(gòu)：

　　可通過(guò)手動(dòng)旋鈕、杠桿或電動(dòng)馬達(dá)控制探針的垂直升降。

　　配備恒力彈簧或壓力傳感器，確保探針以恒定、可控的壓力接觸樣品表面，避免壓力過(guò)大損傷樣品或過(guò)小導(dǎo)致接觸不良。

　　2、樣品臺(tái)(Sample Stage)

　　平臺(tái)：平坦、堅(jiān)固的基座，用于放置待測(cè)樣品。材質(zhì)通常為絕緣或?qū)щ娦钥煽氐牟牧稀?/div>